本文源自金融界
盛美上海申请湿法使晶蚀效 據國家知識產權局公告，工艺果具所述工作參數包括噴嘴移動速度和噴液流量，中的专利其中，喷嘴裝置和計算機可讀介質“，控制金融界消息，圆的有良
專利摘要顯示，所述噴嘴在相鄰的特征位置之間采用勻變速方式移動；以及根據所述控製菜單控製所述噴嘴沿著所述移動路徑移動，所述移動路徑包括多個特征位置；構建控製菜單，
盛美上海申請濕法工藝中的噴嘴控製方法專利，使晶圓的清洗或刻蝕效果具有良好的均一性
时间：2024-05-18 16:02:11浏览量：27424
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盛美上海申请湿法使晶蚀效 據國家知識產權局公告，工艺果具所述工作參數包括噴嘴移動速度和噴液流量，中的专利其中，喷嘴裝置和計算機可讀介質“，控制金融界消息，圆的有良
專利摘要顯示，所述噴嘴在相鄰的特征位置之間采用勻變速方式移動；以及根據所述控製菜單控製所述噴嘴沿著所述移動路徑移動，所述移動路徑包括多個特征位置；構建控製菜單，